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27March

真空幫浦的種類有哪些呢?專家告訴你

真空泵(即真空幫浦)的作用是將一空間中的氣體排出製造真空狀態的機器,它被大量運用醫療、化工、加工、機械...等產業上,究竟這樣被經常使用的機器,它所運作的原理為何?

 

真空幫浦的原理

真空泵基本上可以分爲兩種類型:氣體傳輸泵和氣體捕集泵


氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵。


氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的内表面上,從而減小了容器内的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。

 

真空在進行抽氣的過程中,通常會經歷以下的階段:

 

大氣抽至中真空範圍,壓力隨時間之變化為自然對數的衰減,抽氣過程是非常的快速,時間極短。而當從中度真空進入高真空範圍時,表面吸附性氣體的退吸決定壓力。最後在高真空範圍時,表面吸附的氣體分子漸被抽盡 。

 

真空的分類

依照抽氣方式不同,真空幫浦可歸類為以下幾個分類:

 

排氣式

  • 正位移式幫浦(positive displacement type)
  • 往復式幫浦
  • 迴轉式幫浦(rotary pump and scroll pump)
  • 動能式幫浦(kinetic energy type)
  • 機械動能傳遞式(turbo-molecular pump)
  • 流體(蒸氣)動能傳遞式(diffusion pump)

 

貯氣式

  • 吸附式幫浦(surface adsorption type pump)
  • 吸附幫浦(sorption pump)
  • 結拖幫浦(getter pump)
  • 冷凍幫浦(cryogenic pump,簡稱cryo pump)
  • 離子幫浦(ion pump)

 

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